广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 分子泵养护

半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵的维修方法有更换前级泵，更换后级泵。这个办法是由于前级泵在运行时，其轴承磨损,转速大等原因造成。所以要注意保持轴承的平衡,保证轴承不会磨损。如果发现转子轴承出现题,可以用仪器检查，检查后要及时更换。如果发生故障,应立即停止工作。真空泵机组维修

分子泵运行超过3年后,会出现油棉变黑、转子不稳等，请您到分子泵维修厂家去检测.分析分子泵是一种高压泵,它具有很大的工作频率和较好的动态性能，它可以保证在正常运行状态下工作。真空泵机组维修

油脂润滑和脂润滑分子泵也统称为机械轴承分子泵。并且其油或者油脂的性能必须具备以下三个条件，才能满足泵的工作要求：真空泵机组维修

a. 高速下具备良好的润滑性能；

b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压．

c. 粘度适当，使之兼有轴承冷却液的作用。

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分子泵转速过高，轴承磨损。这种情况主要集中在转矩和轴承两个部件上。转矩和轴承两个部件不稳定。这种情况主要集中在轴承磨损。分析原因有1)油棉变黑了,发黄,转速限定解决方法用电脑检测分子泵运行状态，可以判断出油棉变黑了。上海维修真空泵

对真空设备而言，非接触悬浮是很有吸引力的。电磁轴承应用于涡轮分子泵，可实现分子泵的无油、无磨损运行，运行安静，振动ji小，尤其适合半导体工业等超净高真空应用场合。上海维修真空泵

还有一种冒烟的原因就是，真空泵在使用了一定的时间后，由于没有对泵做好日常的维护保养工作，使得排气口处冒出了油烟。这其实是真空泵的排气过滤器失效了，要知道的是，真空泵排气过滤器，是一个属于耗材料类配件，在真空泵里面起到油气分离作用，可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体。把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里，当排气过滤器失效时，排气过滤器就起不到过滤作用。上海维修真空泵

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